| 发明名称 |
CHAMBER CLEANING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1068474(A4) |
申请公布日期 |
2002.01.23 |
| 申请号 |
EP19990908566 |
申请日期 |
1999.03.01 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
HERMAN, TIMOTHY, L. |
| 分类号 |
B08B9/049;B01D45/18;F22B37/48;F23J3/00;F23J3/02;F28F19/00;F28G9/00;(IPC1-7):B01D45/18 |
主分类号 |
B08B9/049 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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