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经营范围
发明名称
Ceramic flash evaporator
摘要
申请公布号
EP0900858(B1)
申请公布日期
2002.01.23
申请号
EP19980114772
申请日期
1998.08.06
申请人
WACKER-CHEMIE GMBH
发明人
SEIFERT, MARTIN
分类号
C23C14/26;C23C14/24;H01J9/22;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/26
代理机构
代理人
主权项
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