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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002502119(A) 申请公布日期 2002.01.22
申请号 JP20000529740 申请日期 1999.01.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/04;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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