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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Driftzone eines Kompensationsbauelements
摘要
申请公布号 DE19964214(C2) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 DE19991064214 申请日期 1999.09.07
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MAUDER, ANTON;SCHULZE, HANS-JOACHIM;DEBOY, GERALD;STRACK, HELMUT
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L29/06;H01L29/167;(IPC1-7):H01L29/06 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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