Mikroskop und Verfahren zur quantitativen optischen Messung der Topographie einer Oberfläche

摘要

Ein Mikroskop und ein Verfahren zur quantitativen optischen Messung der Topographie einer Oberfläche eines Werkstückes wird vorgeschlagen. Es zeichnet sich durch einen Differential-Interferenz-Kontrast-Mikroskopaufbau nach Nomarski mit einer Lichtquelle, einem Polarisator, einem veränderbaren Nomarski-Prisma und einem Analysator, bei dem die Lichtquelle ein enges Frequenzspektrum besitzt und/oder die Lichtquelle mit einem Spektralfilter mit engem Frequenzspektrum ausgerüstet ist und bei dem eine Phasenverschiebungsinterferometrie-Auswerteeinheit vorgesehen ist, aus.