发明名称 Messfühler
摘要
申请公布号 DE69708751(D1) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 DE19976008751 申请日期 1997.05.20
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 NAMERIKAWA, MASAHIKO;SHIBATA, KAZUYOSHI;TAKEUCHI, YUKIHISA
分类号 G01L1/10;G01L9/00;G01N9/00;G01N11/16;G01N29/036;G01N29/22;H01L41/08;(IPC1-7):G01N29/02 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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