| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung einer Fläche (A) eines Objektes (BO) mit einer eine kurzkohärente Strahlung abgebenden Strahlungsquelle (KL), einem Strahlteiler (ST) zum Bilden eines über einen Objektlichtweg (OW) zu dem Objekt (BO) geleiteten Objektstrahls und eines über einen Referenzlichtweg (RW) zu einer reflektierenden Referenzebene (SP1) geleiteten Referenzstrahls und mit einem Bildwandler (BW), der die von der Fläche (A) und der Referenzebene (SP1) zurück geworfene und zur Interferenz gebrachte Strahlung aufnimmt und einer Auswerteeinrichtung zum Bestimmen eines die Fläche (A) betreffenden Messergebnisses zuführt, wobei zum Auswerten des Interferenzmaximums die optische Länge des Objektlichtweges (OW) relativ zu der optischen Länge des Referenzlichtwegs (RW) geändert wird. Bei einfacher Justierung wird eine genaue Messung räumlich voneinander getrennter Oberflächen dadurch erreicht, dass in dem Objektlichtweg (OW) eine Superpositionsoptik mit einer Multifokaloptik (LB) oder einer Freie-Segmente-Optik (FO) aus verschiedenen Abbildungselementen vorgesehen ist, dass mit der Superpositionsoptik gleichzeitig außer von der Fläche (A) von mindestens einer weiteren Fläche (B) ein Bild erzeugbar ist, das direkt oder über mindestens eine Zwischenabbildung auf dem Bildwandler (BW) abgebildet wird und dass die Auswertung der der Fläche (A) und der der mindestens einen weiteren Fläche (B) entsprechenden Interferenzmaxima unter zeitlich aufeinander folgendem Abtasten erfolgt.</p> |
