| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un réseau de phase de diffraction micromécanique qui peut être formé de déflecteurs en bande de type ressort fixés sur un boîtier transparent positionné sur un substrat tel qu'un substrat de silice. Ces déflecteurs en bande sont formés indépendamment du substrat de silice. Si un défaut survient dans le réseau de phase et en particulier dans les déflecteurs en bande, l'ensemble plaque supérieure peut être retravaillé ou rejeté sans qu'il soit nécessaire de sacrifier le substrat qui est relativement onéreux.</p> |
