发明名称 Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten
摘要 Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur temperaturkompensierten, mehrdimensionalen Mikropositionierung von zueinander lagedefinierten optischen Komponenten, umfassend eine Führungseinheit zur Aufnahme der optischen Komponenten sowie mehrere Piezoaktoren. DOLLAR A Erfindungsgemäß besteht die Führungseinheit aus zwei beabstandeten Platten oder Ringen, wobei zwischen den Ringen oder Platten mehrere beabstandete Festkörpergelenke angeordnet oder integriert sind. Den Festkörpergelenken benachbart sind Piezoaktoren derart fixiert, dass auf die Ringe oder Platten Verstellkräfte zur Einwirkung gelangen. Mindestens die die optischen Komponenten aufnehmenden Flächen der Ringe oder Platten sind mit einem Material entsprechend der optischen Komponenten beschichtet, wobei die Beschichtung vor dem Befestigen, insbesondere Aufspringen der optischen Komponenten zur Lagedefinition bearbeitbar ist. Die Führungseinheit sowie die optischen Komponenten selbst bestehen aus einem Material von im wesentlichen gleichen Temperaturkoeffizienten.
申请公布号 DE10029306(A1) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 DE20001029306 申请日期 2000.06.14
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO 发明人
分类号 B23Q1/34;G02B7/00;G02B7/02;(IPC1-7):G02B7/00 主分类号 B23Q1/34
代理机构 代理人
主权项
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