发明名称 Beschleunigungsmessaufnehmer sowie Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69617674(D1) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 DE19966017674 申请日期 1996.09.10
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 VIGNA, BENEDETTO;FERRARI, PAOLO;MASTROMATTEO, UBALDO
分类号 G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/11;H01L29/84;(IPC1-7):G01P1/00 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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