发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Wegmessung
摘要
申请公布号 DE69524347(D1) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 DE19956024347 申请日期 1995.09.21
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWAMATA, NAOKI
分类号 G01B21/22;G01D5/244;G01D5/245;G06F17/17;(IPC1-7):G01D5/244 主分类号 G01B21/22
代理机构 代理人
主权项
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