Dosing of suspensions on a micro scale for preparation of material samples in combinatorial material research

摘要

In einem Verfahren zur kombinatorischen Herstellung von Materialproben in Form einer zweidimensionalen Matrix im Oberflächenbereich eines flächigen Substrats werden mindestens zwei unterschiedliche dosierfähige Materialkomponenten als Suspension aus einer oder mehreren Dosiervorrichtungen, die die Abgabe einzelner Suspensionstropfen erlauben, auf dieselbe Stelle des Substrats dosiert, so daß an unterschiedlichen Oberflächenbereichen des Substrats Materialien mit unterschiedlicher Zusammensetzung erhalten werden.