发明名称 用于产生等离子体的空心阴极阵列
摘要 本发明披露了一种用于产生放电等离子体的阴极组件。所述阴极组件包括呈阵列形式的多个导电的空心等离子体产生单元,所述单元相互之间电连接。所产生的等离子体可以用于修改衬底例如膜,纤维,颗粒和其它物品的表面性能。
申请公布号 CN1331836A 申请公布日期 2002.01.16
申请号 CN99814158.5 申请日期 1999.12.06
申请人 纳幕尔杜邦公司 发明人 J·-H·E·陈;T·-J·林
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 肖春京;黄力行
主权项 1.种用于产生等离子体的阴极组件,其包括:呈阵列形式的多个导电的空心等离子体产生单元,所述单元相互之间电连接。
地址 美国特拉华州威尔明顿