发明名称 | 用于产生等离子体的空心阴极阵列 | ||
摘要 | 本发明披露了一种用于产生放电等离子体的阴极组件。所述阴极组件包括呈阵列形式的多个导电的空心等离子体产生单元,所述单元相互之间电连接。所产生的等离子体可以用于修改衬底例如膜,纤维,颗粒和其它物品的表面性能。 | ||
申请公布号 | CN1331836A | 申请公布日期 | 2002.01.16 |
申请号 | CN99814158.5 | 申请日期 | 1999.12.06 |
申请人 | 纳幕尔杜邦公司 | 发明人 | J·-H·E·陈;T·-J·林 |
分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 肖春京;黄力行 |
主权项 | 1.种用于产生等离子体的阴极组件,其包括:呈阵列形式的多个导电的空心等离子体产生单元,所述单元相互之间电连接。 | ||
地址 | 美国特拉华州威尔明顿 |