一种沉积高质量薄膜低温等离子体装置

摘要

本实用新型涉及一种沉积高质量薄膜低温等离子体装置,包括阴极弧等离子体源、真空靶室,阴极弧等离子体源与真空靶室之间通过磁螺旋管相连,在磁螺旋管内设有螺旋线圈,在磁螺旋管外设有磁场;本实用新型可过滤阴极弧等离子体中的颗粒团和中性大粒子,仅留下质量和能量相对均匀的纯离子,并减少了等离子体的损失,使沉积形成的薄膜表面光滑,缺陷少,沉积温度低,与衬底结合良好,质量高并容易控制,并可在室温下制备出质量优异的薄膜材料。

主权项

1、一种沉积高质量薄膜低温等离子体装置，包括阴极弧等离子体源(1)、真空靶室(5)，其特征在于连接阴极弧等离子体源(1)与真空靶室(5)的导管为磁螺旋管(2)，在磁螺旋管(2)内设有螺旋线圈(3)，在磁螺旋管(2)外设有磁场(4)。