| 摘要 |
<p>Eine Beschichtungsanlage für scheibenförmige Werkstücke hat eine Transportkammer (3) mit einer Transportanordnung (11) für Werkstücke. Die Transportanordnung (11) hat Transportstössel (15), welche gesteuert getrieben und gleichtaktig linear ausfahrbar und rückholbar sind. Die an den Stösseln (15) vorgesehenen Werkstückaufnahmen (17) bedienen Öffnungen an der Transportkammer (3). An mindestens einer dieser Öffnungen ist eine Beschichtungsstation (21) angeflanscht. Um betriebsnotwendige Stillstandszeiten einer solchen Anlage zu minimalisieren, mit Fluten der Kammer (3), ist eine an dieser vorgesehene Pumpöffnung (30) durch eine der erwähnten durch die Transportanordnung (11) bedienbaren Öffnungen gebildet. Diese Öffnung, hin zu einer Pumpeneinheit (34), wird mittels einem der Transportstössel (15) vor dem Fluten der Transportkammer (3) dichtend verschlossen, womit verhindert wird, dass die Pumpeinheit (34) mitgeflutet wird und die dadurch bedingten Rekonditionierungszeitspannen wegfallen. <IMAGE></p> |
