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发明名称 METHOD FOR REMOVING RESIDUES WITH REDUCED ETCHING OF OXIDE
摘要
申请公布号 EP1171908(A1) 申请公布日期 2002.01.16
申请号 EP20010906565 申请日期 2001.01.17
申请人 PHILIPS SEMICONDUCTORS INC.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 YEH, EDWARD, K.;GABRIEL, CALVIN, TODD;ZHENG, TAMMY;LEARD, LINDA
分类号 H01L21/3065;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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