| 发明名称 | 有机抗反射涂料聚合物,抗反射涂料组合物及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种具有右式1的有机抗反射聚合物、其制备方法、一种含有所述有机抗反射聚合物的抗反射涂料组合物、和由其制得抗反射涂层的制备方法。该包含所公开聚合物的抗反射涂层消除了由晶片的下层光学性能和光刻胶的厚度变化所引起的驻波,防止了由于从下层衍射和反射的光引起的回射和CD变换。这些优点使得能够形成适用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半导体器件的稳定的超微图案,并提高生产产率。而且,还能控制K值并且增加疏水性,有助于形成EBR(流珠式除水)。 | ||
| 申请公布号 | CN1331256A | 申请公布日期 | 2002.01.16 |
| 申请号 | CN01123292.7 | 申请日期 | 2001.06.30 |
| 申请人 | 海力士半导体有限公司 | 发明人 | 洪圣恩;郑旼镐;郑载昌;李根守;白基镐 |
| 分类号 | C08F20/14;C09D133/08 | 主分类号 | C08F20/14 |
| 代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 黄益芬 |
| 主权项 | 1.一种具有下式1结构的化合物：式1<img file="A0112329200021.GIF" wi="986" he="574" />其中，R<sup>a</sup>至R<sup>d</sup>各自为氢或甲基；R<sub>a</sub>至R<sub>d</sub>，和R<sub>1</sub>至R<sub>9</sub>各自选自-H、-OH、-OCOCH<sub>3</sub>、-COOH、-CH<sub>2</sub>OH，或者具有1至5个碳原子的烷基和具有1至5个碳原子的烷氧烷基；l、m和n各自代表选自1、2、3、4和5的一个整数；w、x、y和z各自代表约0.01-约0.99的摩尔分数。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||