液滴沉积装置

摘要

液滴沉积装置包括:一液体腔阵列(300,310),每个腔与一液滴喷出孔、一公共液体进口总管(220)和一公共液体出口总管(210,230)连通;用于产生一液流到进口总管中、并经阵列中的每个腔、进入出口总管的装置,通过每个腔的液流足以防止液体中的外物滞留在孔内。每个腔与随液流经过该腔的同时影响液滴从孔喷出的装置相联系。进口和出口总管之一的流动阻力是这样选择的,即在阵列中任何腔的液体进口处的压力在任两个腔之间以一数值变化,该数值小于在这些两个腔之间使液滴喷出特性会产生有效差异的数值。

主权项

1、液滴沉积装置包括：一液体腔阵列，每个腔与一液滴喷出孔、一公共液体进口总管和一公共液体出口总管连通；用于产生一液流到所述进口总管中、并经所述阵列中的每一腔、进入所述出口总管的装置，所述通过每个腔的液流足以防止液体中的外物聚集在所述孔内；其中：每个腔与随所述液流经过该腔的同时影响液滴从所述孔喷出的装置相联系，所述进口和出口总管的流动阻力是这样选择的，即由于流动而在阵列中任何腔的所述孔处的静压力在任两个腔之间以这样的数值变化，该数值小于在阵列中所述两个腔之间使液滴喷出特性会产生有效差异的数值。