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发明名称 CONTROLLABLE MICRO-SLIT LINE
摘要
申请公布号 EP1070233(B1) 申请公布日期 2002.01.16
申请号 EP19990919188 申请日期 1999.03.26
申请人 INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V.;PIEZOSYSTEM JENA PRAEZISIONSJUSTIERELEMENTE GMBH 发明人 GOETZ, BERNT;MARTIN, THOMAS;RIESENBERG, RAINER;SEIFERT, THOMAS
分类号 G01J3/04;G01J3/28;(IPC1-7):G01J3/04 主分类号 G01J3/04
代理机构 代理人
主权项
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