发明名称 进行X射线荧光发散分析以确定材料浓度
摘要 揭示了一种用于确定微粉体中掺杂物浓度的方法和设备,其中微粉体至少构成用于形成光波导的微粉体预制棒(12)的一部分。光子源(30)辐照芯棒(14)上的微粉体预制棒。探测来自被辐照微粉体的X射线荧光发射,并且根据探测到的X射线荧光发射确定掺杂物的浓度。另外,用探测到的X射线荧光发射来确定微粉体中掺杂物浓度与预定浓度之间的偏差,并根据偏差来调节沉积条件,由此控制预制棒上各层微粉体中的掺杂物浓度。
申请公布号 CN1331798A 申请公布日期 2002.01.16
申请号 CN99814826.1 申请日期 1999.12.06
申请人 康宁股份有限公司 发明人 A·P·奎因
分类号 G01N23/223 主分类号 G01N23/223
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 钱慰民
主权项 1.一种用于确定微粉体中掺杂物浓度的方法,其中微粉体至少构成用于形成光波导的微粉体预制棒的一部分,其特征在于,所述方法包括以下步骤:用光子辐照微粉体;探测来自被辐照微粉体的X射线荧光发射;以及根据探测到的X射线荧光发射确定掺杂物的浓度。
地址 美国纽约州