发明名称 | 进行X射线荧光发散分析以确定材料浓度 | ||
摘要 | 揭示了一种用于确定微粉体中掺杂物浓度的方法和设备,其中微粉体至少构成用于形成光波导的微粉体预制棒(12)的一部分。光子源(30)辐照芯棒(14)上的微粉体预制棒。探测来自被辐照微粉体的X射线荧光发射,并且根据探测到的X射线荧光发射确定掺杂物的浓度。另外,用探测到的X射线荧光发射来确定微粉体中掺杂物浓度与预定浓度之间的偏差,并根据偏差来调节沉积条件,由此控制预制棒上各层微粉体中的掺杂物浓度。 | ||
申请公布号 | CN1331798A | 申请公布日期 | 2002.01.16 |
申请号 | CN99814826.1 | 申请日期 | 1999.12.06 |
申请人 | 康宁股份有限公司 | 发明人 | A·P·奎因 |
分类号 | G01N23/223 | 主分类号 | G01N23/223 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 钱慰民 |
主权项 | 1.一种用于确定微粉体中掺杂物浓度的方法,其中微粉体至少构成用于形成光波导的微粉体预制棒的一部分,其特征在于,所述方法包括以下步骤:用光子辐照微粉体;探测来自被辐照微粉体的X射线荧光发射;以及根据探测到的X射线荧光发射确定掺杂物的浓度。 | ||
地址 | 美国纽约州 |