发明名称 |
EINRICHTUNG ZUM VERBINDEN VON VAKUUMPUMPSTÄNDEN MIT ELEKTRONENRÖHREN |
摘要 |
|
申请公布号 |
AT211302(T) |
申请公布日期 |
2002.01.15 |
申请号 |
AT19960103541T |
申请日期 |
1996.03.07 |
申请人 |
PFEIFFER VACUUM GMBH |
发明人 |
BLECKER, ARMIN;TSCHESCHE, HARTMUT |
分类号 |
H01J9/385;(IPC1-7):H01J9/385 |
主分类号 |
H01J9/385 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|