发明名称 EINRICHTUNG ZUM VERBINDEN VON VAKUUMPUMPSTÄNDEN MIT ELEKTRONENRÖHREN
摘要
申请公布号 AT211302(T) 申请公布日期 2002.01.15
申请号 AT19960103541T 申请日期 1996.03.07
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 BLECKER, ARMIN;TSCHESCHE, HARTMUT
分类号 H01J9/385;(IPC1-7):H01J9/385 主分类号 H01J9/385
代理机构 代理人
主权项
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