发明名称
摘要
申请公布号 JP2002501304(A) 申请公布日期 2002.01.15
申请号 JP20000527969 申请日期 1998.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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