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发明名称
摘要
申请公布号 JP3247450(B2) 申请公布日期 2002.01.15
申请号 JP19920271038 申请日期 1992.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L27/15;H01S5/00;H01S5/06;H01S5/0625;(IPC1-7):H01S5/062 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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