发明名称 有机电激发光显示面板之感光性聚亚醯胺图素定义层之制造方法
摘要 有机电激发光显示面板之感光性聚亚醯胺图素定义层之制造方法,包括先于基板上形成一对应于发光区域之第一电极;再于第一电极之基板上涂布一感光性聚亚醯胺(polyimide)或聚亚醯胺前驱体(polyimide recursor)层;之后对涂布感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之基板进行预烤(prebake);然后于使用光罩进行曝光;及对光阻显影以形成具图样(pattern)之感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层;以及加热烘烤包含感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之基板以硬化聚亚醯胺形成电气、热与机械安定之聚亚醯胺图素定义层。
申请公布号 TW472503 申请公布日期 2002.01.11
申请号 TW089107927 申请日期 2000.04.26
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 卢添荣
分类号 H05B33/14 主分类号 H05B33/14
代理机构 代理人 吴冠赐 台北巿信义路四段四一五号十三楼之三;苏建太 台北巿信义路四段四一五号十三楼之三;杨庆隆 台北市信义路四段四一五号十三楼之三
主权项 1.一种有机电激发光显示面板之感光性聚亚醯胺图素定义层之制造方法,其中该有机电光显示面板包含复数个发光区域;包括:于基板上形成一对应于发光区域之第一电极;于第一电极之基板上涂布一感光性聚亚醯胺(polyimide)或聚亚醯胺前驱体(polyimide precursor)层;对涂布一感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之基板进行预烤(prebake);使用光罩对感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层进行曝光,而后显影,以形成具图样(pattern)之感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层;以及高温烘烤包含感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之基板以交联硬化聚亚醯胺形成聚亚醯胺图素定义层;其中该感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之图样系将第一电极分隔成复数个不为聚亚醯胺图素定义层覆盖之开口区域。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中更包含于聚亚醯胺(polyimide)图素定义层上形成一具有T形状顶部之条状光阻层。3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中加热包含感光性聚亚醯胺或聚亚醯胺前驱体层之基板系加热至少至温度400℃以上。4.如申请专利范围1项所述之方法,其中该聚亚醯胺图素定义层为复数平行长条并与第一电极形成垂直交错。5.如申请专利范围2项所述之方法,其中该条状光阻层与第一电极形成垂直交错。6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该光阻为正型光阻。7.如申请专利范围第1项所述之方法,其中更包括于含第一电极之基板上形成一条状光阻层,该光阻层系突出于含第一电极之基板,且该条状光阻层之顶端系与基板之平面平行。8.如申请专利范围第1项所述之方法,其中更包括于条状光阻层间之暴露区域之第一电极上沈积有机发光介质,以于第一电极上形成复数个包含有机发光介质之第一电极区域;以及于有机发光介质层上形成第二电极。9.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该第一电极与该第二电极互相垂直。10.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该第一电极为透明。11.如申请专利范围第1项所述之方法,其中在光阻涂布前还包含基板的清洗与烘乾。12.如申请专利范围第1有所述之方法,其中于基板上形成一对应于发光区域之第一电极前先形成辅助电极层。13.一种有机电光元件,包括一基板,复数个第一电极,复数个第二电极,感光性聚亚醯胺图素定义层及复数个条状光阻层,及复数个有机发光材料层;其中复数个第一电极平行排列于基板上;该感光性聚亚醯胺图素定义层位于包括第一电极之基板上;该条状光阻层位于感光性聚亚醯胺图素定义层上;该光阻层系突出于含第一电极之基板,且该条状光阻层之顶端系与基板之平面平行;有机发光介质层沈积于第一电极上;第二电极有机发光介质层上;且该条状光阻层系由包含光阻组成物经光罩曝光、显影所形成。14.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中聚亚醯胺(polyimide)图素定义层上系形成一具有T形状顶部之条状光阻层。15.如申请专利范围13项的所述之有机电光元件,其中该聚亚醯胺图素定义层为复数平行长条并与第一电极形成垂直交错。16.如申请专利范围15项所述之有机电光元件,其中该条状光阻层与第一电极形成垂直交错。17.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中该光阻为正型光阻。18.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中该第一电极与该第二电极互相垂直。19.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中该第一电极为透明。20.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中该基板为透明。21.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其中更包括复数个辅助电极。图式简单说明:第一图系本发明未形成有机发光层及第二电极层显示面板立体图。第二图系本发明形成有机电激发光显示面板之上视图。
地址 新竹县竹北市仁义路六十五号