| 主权项 |
1.一种电气特性评价装置,其具有独立驱动之复数之悬臂,系藉由原子间力显微镜法来进行探针试料间之位置控制;其特征在于,前述悬臂之自由端部具有金属探针,该金属探针之前端系以突出于前述悬臂之自由端部的方式来设置。2.如申请专利范围第1项之电气特性评价装置,系于前述悬臂形成电阻器,而由前述电阻器之电阻値之变化来检测该悬臂之变形。3.如申请专利范围第1项之电气特性评价装置,系于前述悬臂形成压电器,而由前述压电器之电位之变化来检测该悬臂之变形。4.如申请专利范围第2或第3项之电气特性评价装置,其中,于前述悬臂至悬臂支撑基板上,具有至少三个电极,其中两个电极系与前述电阻器或是压电器连接,另外一个电极系与前述金属探针连接。5.如申请专利范围第1项之电气特性评价装置,其中,前述金属探针系藉由导电性之构件接着于悬臂自由端之电极上。6.如申请专利范围第5项之电气特性评价装置,其中,前述金属探针之接着,系使用收敛离子束来进行切断附着。7.如申请专利范围第1项之电气特性评价装置,系让作用于探针试料间之原子间力为排斥力来进行探针试料间之位置控制。8.如申请专利范围第1项之电气特性评价装置,其中,前述金属探针系于前述悬臂自由端之电极上选择性成长所形成者。图式简单说明:第一图所示系使用习知型悬臂之情况的示意图。第二图所示系使用习知悬臂之测定方法图。第三图系显示本发明之第1实施例之悬臂示意图。第四图系显示本发明之让复数之探针接近之情况的示意图。第五图系显示本发明之第1实施例之悬臂基板之制程一之图。第六图系显示本发明之第1实施例之悬臂基板之制程二之图。第七图系显示本发明之第1实施例之悬臂基板之制程三之图。第八图系显示本发明之第1实施例之金属探针之前端部往悬臂基板之移植顺序的一例之图。第九图系显示本发明之第2实施例之搭载着悬臂之电气特性测定装置之系统概略图。第十图系放大本发明之电气特性测定装置之系统之主要部-探针移动机构部之示意图。第十一图系示意显示本发明之第3实施例之探针试料间距离与探针试料间之接触电阻之关系图。第十二图系显示本发明之第3实施例之探针试料间距离与作用于探针试料间之力的关系图。第十三图系显示采本发明之纳电晶体动作特性测定之示意图。第十四图系显示本发明之第4实施例之悬臂之示意图。第十五图系显示本发明之第5实施例之悬臂之制作制程图。第十六图系显示本发明之悬臂之使用态样图。 |
