| 主权项 |
1.一种微机械驱动装置,应用于驱动一被动物件,该装置包含:一基板,该被动物件系挠性连接于该基板上;一驱动力产生器,设置于该基板上;一传动杆,其第一部份与第二部份系分别挠性连接于该驱动力产生器与该被动物件上;以及一支点,设置于该传动杆与基板之间,其系用以将该驱动力产生器对该传动杆第一部份所产生之位移,传送至该传动杆之第二部份并加以放大,进而使该被动物件相对于该基板之运动行程增大。2.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该驱动力产生器包含:一下电极,固设于该基板表面;以及一上电极,挠性连接于该传动杆与该基板,当受到该下电极之静电力之吸引时便向下产生位移,进而带动该传动杆依支点产生运动。3.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该传动杆之截面形状系于其厚度方向之表面具有凸出物。4.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该支点与该基板之固定系以一锚(anchor)来完成。5.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该传动杆之第一部份与第二部份系分别为该传动杆之第一端与第二端,而该支点位于该第一端与第二端之间。6.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该传动杆之第二部份为该传动杆之第二端,该支点位于该传动杆之第一端,而该传动杆之第一部份系位于该第一端与第二端之间。7.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该被动物件系透过另一传动杆、另一驱动力产生器以及另一支点而挠性连接于该基板上。8.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该传动杆与该被动物件下方之基板表面系具有一凹槽,其系提供该传动杆与该被动物件有足够之运动空间。9.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该基板为一矽基板。10.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其所驱动之该被动物件系为一光开关与一射频电磁波开关中之一。11.如申请专利范围第1项所述之微机械驱动装置,其中该传动杆与该支点之制造方法包含下列步骤:于该基板上形成一沟槽与一罩幕;于该沟槽处形成一牺牲层;于该牺牲层与该罩幕上形成一构造层;对该构造层进行一图案定义制程并除去该牺牲层,进而于该沟槽处形成截面形状于其厚度方向之表面具有凸出物之该传动杆,以及于该罩幕上方形成与该传动杆连接之该支点。12.如申请专利范围第11项所述之微机械驱动装置,其中该罩幕之材质为氮化矽。13.如申请专利范围第11项所述之微机械驱动装置,其中该牺牲层之材质为二氧化矽。14.如申请专利范围第12项所述之微机械驱动装置,其中该构造层之材质系选自低应力氮化矽、复晶矽以及金属材料中之一。15.一微机械传动杆与锚之制造方法,其包含下列步骤:提供一基板;于该基板上形成一沟槽与一罩幕;于该沟槽处形成一牺牲层;于该牺牲层与该罩幕上形成一构造层;对该构造层进行一图案定义制程并除去该牺牲层,进而于该沟槽处形成截面形状于其厚度方向之表面具有凸出物之一传动杆,以及于该罩幕上方形成与该传动杆连接之一锚。16.如申请专利范围第15项所述之微机械传动杆与锚之制造方法,其中该罩幕之材质为氮化矽。17.如申请专利范围第16项所述之微机械传动杆与锚之制造方法,其中该牺牲层之材质为二氧化矽。18.如申请专利范围第16项所述之微机械传动杆与锚之制造方法,其中该构造层之材质系选自低应力氮化矽、复晶矽以及金属材料中之一。19.如申请专利范围第15项所述之微机械传动杆与锚之制造方法,其中更包含一凹槽蚀刻制程,其系对该传动杆下方之基板进行蚀刻而形成一凹槽,进而提供该传动杆向下位移之运动空间。20.如申请专利范围第15项所述之微机械传动杆与锚之制造方法,其中该基板系为一矽基板。图式简单说明:第一图(a)(b)(c):其系一习知微致动器之构造示意图。第二图(a)(b)(c):其系另一习知微致动器之构造示意图。第三图(a)(b)(c):其系本案对于微机械驱动装置所发展出来之第一较佳实施例结构示意图。第四图(a)(b)(c)(d):其系本案对于微机械驱动装置所发展出来之第二较佳实施例结构示意图。第五图(a)(b)(c):其系本案对于微机械驱动装置所发展出来之第三较佳实施例结构示意图。第六图:其系本案较佳实施例之传动杆之截面形状示意图。第七图:其系运用于本案较佳实施例中之传动杆、锚以及支点之结构示意图。第八图(a)(b)(c)(d)(e)(f)(g):其系运用于本案较佳实施例中之传动杆、锚以及支点之剖面制程示意图。第九图(a)(b)(c)(d)(e)(f):其系运用于本案较佳实施例中之传动杆、锚以及支点之另一剖面制程示意图。 |
