发明名称 元件处理装置及其控制方法
摘要 [课题]提供一种元件处理装置及其控制方法,使装在元件处理装置之致动器之顺序动作高速化以提高元件处理之产量。[解决手段]一种元件处理装置,(包括将元件保持成自由拆装之元件保持部6、令元件保持部6在Z轴方向移动之压力缸10、令元件保持部6及压力缸10向和该Z轴方向不同之X轴或Y轴方向移动之马达18、利用马达18沿着X轴或Y轴方向移动元件保持部6及压力缸10而在侦测到达了既定之停止位置A或B之前之时刻产生中断信号之中断信号产生电路22、以中断信号产生电路22产生中断信号之时刻为基准计数等待时间之定时器电路22以及在利用定时器电路22侦测到经过了既定之等待时间之情况输出驱动压力缸10之信号之压力缸驱动信号产生电路22。)
申请公布号 TW472153 申请公布日期 2002.01.11
申请号 TW088116248 申请日期 1999.09.22
申请人 阿德潘铁斯特股份有限公司 发明人 小岛昭雄
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种元件处理装置,包括:元件保持部,将元件保持成自由拆装;第1致动器,令元件保持部在第1方向移动;第2致动器,令该元件保持部及第1致动器向和该第1方向不同之第2方向移动;中断信号产生电路,利用该第2致动器沿着第2方向移动元件保持部及第1致动器而在侦测到达了既定之停止位置之前之时刻产生中断信号;定时器电路,以该中断信号产生电路产生中断信号之时刻为基准计数等待时间;以及第1致动器驱动信号产生电路,在利用该定时器电路侦测到经过了既定之等待时间之情况输出驱动第1致动器之信号。2.如申请专利范围第1项之元件处理装置,其中还具有侦测利用该第1致动器向第1方向移动之该元件保持部之位置之第1方向位置侦测感测器。3.如申请专利范围第1或2项之元件处理装置,其中还具有输出驱动该第2致动器之驱动信号之第2致动器驱动信号产生电路。4.如申请专利范围第3项之元件处理装置,其中该中断信号产生电路以自该第2致动器驱动信号产生电路向该第2致动器开始输出驱动信号之时刻为基准在既定时间后输出该中断信号。5.如申请专利范围第1项之元件处理装置,其中在该元件保持部具备利用负压吸附元件之吸附基座。6.如申请专利范围第1项之元件处理装置,其中该第1致动器系利用液压之压力缸,该第2致动器系可利用驱动信号控制转动角度之马达。7.一种元件处理装置之控制方法,控制具备将元件保持成自由拆装之元件保持部、令元件保持部在第1方向移动之第1致动器以及令该元件保持部及第1致动器向和该第1方向不同之第2方向移动之第2致动器之元件处理装置,该方法包括:利用该第2致动器沿着第2方向移动元件保持部及第1致动器而在侦测到达了既定之停止位置之前之时刻产生中断信号之步骤;以产生了该中断信号之时刻为基准计数等待时间之步骤;以及在侦测到经过了既定之等待时间之情况输出驱动该第1致动器之信号之步骤。8.如申请专利范围第7项之元件处理装置之控制方法,其中将产生该中断信号之时刻设为以开始输出驱动该第2致动器之驱动信号之时刻为基准在经过既定时间之后。图式简单说明:第一图系表示本发明之实施例1之元件处理装置之元件吸附保持装置之概略图。第二图系表示第一图所示控制装置之作用之流程图。第三图系表示第一图所示控制装置之电路之一部分之逻辑电路图。第四图(A)系本发明之实施例1之元件处理装置之时序图,第四图(B)系习知之元件处理装置之时序图。第五图(A)系本发明之实施例1之元件处理装置之依据别的观点之时序图,第五图(B)系习知之元件处理装置之依据别的观点之时序图。第六图系具有本发明之实施例1之元件处理装置之IC晶片元件测试装置之概略平面图。第七图系第六图所示IC晶片元件测试装置之概略侧视图。
地址 日本