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Es wird ein mikromechanisches Bauelement (5) und ein Verfahren zu dessen Herstellung vorgeschlagen, wobei das Bauelement (5) einen Tragkörper (10), insbesondere einen Siliziumkörper, und eine bereichsweise freitragende, mit dem Tragkörper (10) verbundene Membran (14) aufweist. Die Membran (14) ist weiter in einem freitragenden Bereich bereichsweise oberflächlich mit mindestens einem Stabilisierelement (12', 13) versehen. Das vorgeschlagene Verfahren weist folgende Verfahrensschritte auf: a.) Ausbildung eines ersten Bereiches (11) innerhalb des Tragkörpers (10), der zumindest einen ersten Oberflächenbereich des Tragkörpers (10) umfasst, b.) Ausbildung eines zweiten Oberflächenbereiches (12, 12', 13) des Tragkörpers (10), der zumindest bereichsweise in dem ersten Oberflächenbereich (11) liegt, c.) selektives Ätzen des ersten Bereiches (11) bis in eine einstellbare Tiefe unter Bildung von porösem Silizium, wobei der zweite Oberflächenbereich (12, 12', 13) zumindest nahezu nicht geätzt wird, d.) Abscheidung einer Membranschicht (14) auf der Oberfläche des Tragkörpers (10), wobei die Membranschicht (14) zumindest bereichsweise den ersten, porosierten Bereich (11) und zumindest bereichsweise den zweiten Oberflächenbereich (12, 12', 13) bedeckt, und e.) selektives Entfernen des porosierten ersten Bereiches (11). |
