| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Absolutdrucksensors durch Mikrobearbeitung einer Oberfläche eines Halbleitersubstrats sowie solchermaßen hergestellter Absolutdrucksensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4401999(C3) |
申请公布日期 |
2002.01.10 |
| 申请号 |
DE19944401999 |
申请日期 |
1994.01.25 |
| 申请人 |
FORD-WERKE AG |
发明人 |
MASTRANGELO, CARLOS HORACIO |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306;B81B5/00 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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