| 发明名称 |
Semiconductor device and alignment apparatus and alignment method for same |
| 摘要 |
<p>제1 층에 형성된 제1 얼라인먼트 마크들과 제2 층에 형성된 제2 얼라인먼트 마크들을 갖는 반도체 장치에서, 제1 얼라인먼트 마크들과 제2 얼라인먼트 마크들이 대략 회절 격자 거리(X)로 서로 근접하도록 배치되어 있는 반도체 장치이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR100319999(B1) |
申请公布日期 |
2002.01.10 |
| 申请号 |
KR19990011415 |
申请日期 |
1999.04.01 |
| 申请人 |
null, null |
发明人 |
마츠우라세이지 |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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