WHEEL-TYPE WAFER HOLDER COMPRISING A PRESSING ELEMENT

摘要

Ein Waferhalterad ist so aufgebaut, dass es zur beidseitigen, vollständigen und homogenen Beschichtung eines Wafers ohne Abschatung durch die Waferhalterung geeignet ist. Das Halterad hat einen Zahnkranz um seine Mantelfläche und mittig verläuft eine v-förmige Nut. Das Halterad hat konzentrisch zu sich ein kreisringförmiges Trägerblech mit am inneren Kreis gleichverteilten Haltestäbchen, die den eingelegten Wafer konzentrisch in Position halten. Das Waferhalterad rollt mit seiner v-förmigen Nut auf mehreren, mindestens jedoch drei Rollen ab. Eine davon ist nachgiebig gelagert, drückt aber mit vorgegebener Kraft das Halterad stets gegen die andern, festmontierten. Über ein Antriebsrad mit zwei Zahnkränzen, das mit einem in den Zahnkranz des Waferhalterads eingreift, kann über ein Gestänge mit Kegelzahnkranz am distalen Ende angetrieben werden.