| 发明名称 | 液晶显示器薄膜电晶体的金属电极接触装置 | ||
| 摘要 | 一种液晶显示器薄膜电晶体的金属电极接触装置,该薄膜电晶体包括基板、闸极电极、闸极绝缘层、本质半导体层及掺杂半导体层,及供作源/汲极电极,一金属氧化物导电膜形成于该第二金属层上;一保护层覆盖该金属氧化物导电膜上方;一接触窗穿过该保护层到达该金属氧化物导电膜;一铟锡氧化物导电层填充于该接触窗内,与该金属氧化物导电膜电性连接。本实用新型可使得该金属电极与上层铟锡氧化物导电层之间具有良好的接触电阻值。 | ||
| 申请公布号 | CN2470908Y | 申请公布日期 | 2002.01.09 |
| 申请号 | CN01203877.6 | 申请日期 | 2001.02.27 |
| 申请人 | 元太科技工业股份有限公司 | 发明人 | 林文坚;蓝纬洲 |
| 分类号 | G09G3/36;H01L27/00;G02F1/136 | 主分类号 | G09G3/36 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李树明 |
| 主权项 | 1.一种液晶显示器薄膜电晶体的金属电极接触装置，该薄膜电晶体包括在一基板上供作闸极电极的第一金属层，其上依序形成的闸极绝缘层、本质半导体层及掺杂半导体层，及供作源/汲极电极的第二金属层，其特征在于：一金属氧化物导电膜形成于该第二金属层上；一保护层覆盖该金属氧化物导电膜上方；一接触窗穿过该保护层到达该金属氧化物导电膜；一铟锡氧化物导电层形成于该保护层上方，并填充于该接触窗内，与该金属氧化物导电膜电性连接。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||