发明名称 | 一种自动研磨方法和使用该方法的研磨设备 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用来研磨一个工件的自动研磨方法和使用该方法的一种研磨设备。研磨设备通过使安装座103相对于研磨板104运动而研磨一个工件。在粗加工工序中,在检测出工件的剩余研磨量后,研磨板104受控以高速运动。然后在精加工工序中,通过检测出所述工件的剩余研磨量h已经达到一个预定值HO时,研磨板受控以低速运动。因此,可以在一台设备中连续地进行粗加工和精加工。$#! | ||
申请公布号 | CN1077483C | 申请公布日期 | 2002.01.09 |
申请号 | CN98106279.2 | 申请日期 | 1998.04.08 |
申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 须藤浩二;横井和雄;柳田芳明;绵贯基一;杉山友一 |
分类号 | B24B37/04 | 主分类号 | B24B37/04 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曹永来;黄力行 |
主权项 | 1.一种用于通过使安装座相对于研磨板运动而研磨一个工件的自动研磨方法,包括:一个在检测出所述工件的一个剩余研磨量后用于控制所述研磨平板以高速运动的粗加工工序;以及一个在检测出所述工件的剩余研磨量已经达到一个预定值后用于控制所述研磨板以低速运动的精加工工序。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |