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发明名称 Method and apparatus for cooling window foils of electron beam accelerator
摘要
申请公布号 EP0769890(B1) 申请公布日期 2002.01.09
申请号 EP19960116681 申请日期 1996.10.17
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 NISHIMURA, TATSUYA
分类号 G21K5/00;G21K5/04;H01J33/04;H05H5/02;H05H7/00;(IPC1-7):H05H7/00 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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