| 发明名称 |
Device for handling a disk-like workpiece |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln mindestens einer Unterseite eines scheibenförmigen Gegenstandes. <IMAGE>
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| 申请公布号 |
EP1170782(A2) |
申请公布日期 |
2002.01.09 |
| 申请号 |
EP20010114182 |
申请日期 |
2001.06.12 |
| 申请人 |
SEZ AG |
发明人 |
LINDNER, JOHANNES |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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