| 发明名称 | 膜片的制造 | ||
| 摘要 | 一种在圆片中蚀刻出空腔之后,利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用,防止膜片变形的技术。 | ||
| 申请公布号 | CN1330034A | 申请公布日期 | 2002.01.09 |
| 申请号 | CN01122015.5 | 申请日期 | 2001.06.22 |
| 申请人 | 兰道克斯实验有限公司 | 发明人 | 哈罗德·S·冈布尔;S·J·内尔·米切尔;安德尔泽·普鲁查斯卡;斯蒂芬·皮特·非茨杰拉尔德 |
| 分类号 | B81B3/00;B81B7/00;G01L9/00 | 主分类号 | B81B3/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李德山 |
| 主权项 | 1.一种制造位于空腔上的膜片的方法，该方法包括通过磨削减小圆片的厚度，并在膜片下形成一个空腔。 | ||
| 地址 | 英国安特里姆 | ||