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发明名称 CHARACTERIZING AND CORRECTING CYCLIC ERRORS IN DISTANCE MEASURING AND DISPERSION INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号 EP1169613(A1) 申请公布日期 2002.01.09
申请号 EP20000913938 申请日期 2000.03.15
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 HILL, HENRY, A.
分类号 G01B9/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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