| 发明名称 |
LOW DIELECTRIC NANO-POROUS MATERIAL OBTAINABLE FROM POLYMER DECOMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1169491(A1) |
申请公布日期 |
2002.01.09 |
| 申请号 |
EP20000926025 |
申请日期 |
2000.04.14 |
| 申请人 |
ALLIEDSIGNAL INC. |
发明人 |
CASE, SUZANNE;LEUNG, ROGER, YU-KWAN |
| 分类号 |
C08J5/18;C01B33/113;C08L29/14;C08L33/12;C08L67/04;C08L71/02;C08L83/05;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C23C18/12;C08L83/04 |
主分类号 |
C08J5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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