| 摘要 |
본 발명은 피시험 메모리에 있어서, 주목 블록에서 한번 불량이 검출되면, 이후 그 블록에서 논리 비교를 행하지 않음으로써 시험 시간의 단축이 가능한 반도체 메모리 시험 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 이를 위해, 매치 기능을 이용하여 블록 단위로 메모리의 기록 소거 시험을 하는 반도체 메모리 시험 장치에 있어서, 패턴 발생기(20)의 제1 제어 신호(Ca)로 주목 블록 내에서 최초로 발생한 실패를 홀드하는 레지스터(61)를 피시험 메모리(MUTn)마다 설치하고, 실패가 발생한 블록의 이후의 시험 사이클에서는 매치 상태, 패스 상태 및 기록 금지 상태를 만들어내어, 상기 패턴 발생기의 제2 제어 신호(Cb)로 지정하는 소정의 사이클에서, 상기한 레지스터를 리셋하여 매치 상태, 패스 상태, 기록 금지의 해제를 행하는 해결 수단을 갖춘다. |
