基片检验装置

摘要

基片检验装置,备有:矩形的基片保持机构、将该机构升起至预定角度的驱动机构、和沿基片侧缘至少直交的2个方向设于该保持机构,检测该基片的缺陷部的位置坐标的检测机构;该检测机构备有:沿基片侧缘朝二个方向设置的二组导轨;可沿一组导轨移动,朝与该一方向直交的方向射出光的光源以横跨基片的状态,可沿一组导轨移动,从光源射出的光被投射的投射部件;依各组导轨的光源和投射部件的位置,检测该缺陷部的位置坐标的检测部。

主权项

1.基片检验装置，其特征在于，备有：保持被检验基片的矩形的基片保持机构、将该基片保持机构升起至预定角度的驱动机构、和位置座标检测机构，上述位置座标检测机构沿着被检验基片侧缘的至少直交的2个方向设在上述基片保持机构上，用于检测被检验基片上的缺陷部的位置座标，上述位置座标检测机构备有：投射部件和检测部；沿着被检验基片侧缘朝二个方向设置的二组导轨；光源，其可沿着上述二方向之中的一方向的一组导轨移动，朝着与该一方向直交的方向射出光；投射部件，其以横跨被检验基片的状态，可沿着上述二方向之中的一方向的一组导轨移动，从上述光源射出的光投射在该投射部件上；检测部，其使光源射出的光线和上述投射部件位于上述缺陷部上，根据上述各组导轨上的光源和投射部件的位置，检测出上述缺陷部的位置座标。