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发明名称
摘要
申请公布号 JP3244037(B2) 申请公布日期 2002.01.07
申请号 JP19970300250 申请日期 1997.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/092;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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