发明名称
摘要
申请公布号 JP3244766(B2) 申请公布日期 2002.01.07
申请号 JP19920094269 申请日期 1992.04.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址