| 发明名称 |
CRACK STOP BETWEEN NEIGHBORING FUSES FOR PROTECTION FROM FUSE BLOW DAMAGE |
| 摘要 |
<p>집적 회로 칩에서의 퓨즈 구조물은, 절연된 반도체 기판과 복수개의 평행한 동 평면 퓨즈 링크로 구성된 절연된 반도체 기판에 일체형인 퓨즈 뱅크와, 그리고 퓨즈 링크 각각의 쌍 사이에 분포되며, 동 평면 퓨즈 링크에 의해 규정된 평면을 넘어 연장되는 보이드(void)를 포함한다. 퓨즈 단선 공정 중에 레이저빔에 의해 충격 받을 스폿(spot)을 둘러싸는 보이드는 인접 회로소자 또는 다른 퓨즈 링크에 대한 손상을 방지하는 균열 정지부로서 작용한다. 상기 보이드를 적합하게 형성하고 배치함으로써 퓨즈간의 피치(pitch)는 더욱 조밀하게 된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR100319655(B1) |
申请公布日期 |
2002.01.05 |
| 申请号 |
KR19990067693 |
申请日期 |
1999.12.31 |
| 申请人 |
null, null;null, null |
发明人 |
나라얀챈드라섹하르;브린친게르악셀;큐라에드워드;라덴스칼 |
| 分类号 |
B23K26/00;B23K26/38;B23K101/38;H01H69/02;H01H85/00;H01L21/3205;H01L21/82;H01L21/8242;H01L23/52;H01L23/525;H01L27/04;H01L27/108 |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
