发明名称 ELECTRODE PATTERNING FOR A DIFFERENTIAL PZT ACTIVATOR
摘要
申请公布号 KR20020000801(A) 申请公布日期 2002.01.05
申请号 KR1020017013281 申请日期 2001.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L41/04 主分类号 H01L41/04
代理机构 代理人
主权项
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