| 主权项 |
1.一种动压流体轴承,尤指配置具有可使流体产生压力分布之凹及/或凸状纹路之配件做成的动压流体轴承,其特征为:在具有前述纹路之配件中的至少1件上覆盖钻石状碳膜,且于覆盖者该钻石状碳膜之形成纹路配件中之至少1个配件所属前述纹路部表面及前述形成纹路面上,预先形成前述纹路后,再将钻石状碳膜予以覆盖。2.如申请专利范围第1项之动压流体轴承,其中具备轴以及与该轴相嵌装之套筒,前述钻石状碳膜所覆盖之形成纹路配件即为前述轴及/或套筒,并具有当前述轴于旋转时,由于前述套筒与前述轴间之流体的压力分布而使前述轴往上浮昇之构成,且系在预先形成前述纹路之轴基体及/或套筒基体之前述纹路部表面及前述形成纹路面上覆盖钻石状碳膜。3.如申请专利范围第1或2项之动压流体轴承,其中设以CHxSiyOzNvFw表示前述钻石状碳膜之基本组成时,表示其克分子量比之x、y、z、v及w分别为0.05≦x≦0.7;0≦y≦3.0;0≦z≦1.0;0≦v≦1.0;0≦w≦0.2。4.如申请专利范围第1项之动压流体轴承,其中前述轴具备与前述套筒相对向之凸缘部及与前述流体接触之轴部,而至少在与前述套筒相对向之凸缘部的推力面上具有前述之纹路,且至少在与前述套筒相对向之凸缘部所属推力面以及前述轴部与前述流体接触之面上覆盖钻石状碳膜。5.如申请专利范围第4项之动压流体轴承,其中至少在前述套筒与前述流体接触之圆筒内壁面具有前述之纹路,并在前述套筒与前述轴所属凸缘部之推力面的相对向面及与前述流体接触之圆筒内壁面上覆盖钻石状碳膜。6.如申请专利范围第1或2项之动压流体轴承,其中前述流体系属润油或空气者。图式简单说明:第一图系将本发明之动压流体轴承的一例以模式状态表示之剖视图。第二图系就形成于轴之推力面上的产生压力纹路之说明图,(a)系以模式状态表示推力面上产生压力纹路之端面图,(b)系属(a)图中沿A-A'线之截视图。第三图系为说明套筒之内壁面的产生压力纹路而将套筒之局部予以截示之透视图。第四图系以模式状态表示轴之剖视图。第五图系属轴之轴部所设产生压力纹路之模式图。 |
