发明名称 线接合装置用放电异常检知装置及其方法
摘要 本发明具备一峰值保持电路11,供记忆电压检知部6所检知输出电压波形10的最大输出电压10;以及一电脑14,供比较峰值保持电路11所保持最大输出电压波形12与正常检知范围的绝缘破坏电路,判断放电是否正常,俾可检知放电异常。
申请公布号 TW471080 申请公布日期 2002.01.01
申请号 TW087101977 申请日期 1998.02.13
申请人 新川股份有限公司 发明人 仓一正;寺门义光
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠 台北市长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种线接合装置用放电异常检知装置,系具有将高电压施加于插经毛细管的金属线前端与放电电极间而形成焊球的焊球形成装置,以电压检知部检知上述放电时的放电电压来判断放电异常者,其特征在于,具备一峰値保持电路以存储上述电压检知部所检知输出电压波形的最大输出电压,以及一电脑以比较此峰値保持电路所保持最大输出电压与正常检知范围的绝缘破坏电压而判断放电是否异常。2.一种线接合装置用放电异常检知方法,系具有将高电压施加于插经毛细管的金属线前端与放电电极间而形成焊球的焊球形成装置,以电压检知检知上述放电时的放电电压来判断放电异常者,其特征在于,比较上述检知部所检知输出电压波形的最大输出电压与正常检知范围的绝缘破坏电压而判断放电是否异常。图式简单说明:第一图系一方块图,显示本发明一实施例之线接合装置用线端异常检知装置。第二图系放电间隙与绝缘破坏电压关系。第三图系显示金属线线端状态,(a)为开路状态图,(b)为短路状态图之图式;第四图系显示金属线线端状态,(a)及(b)为线端弯曲状态图,(c)为正常线端状态图之图式;第五图系金属线线端状态之放电电压图。第六图系间隙与放电持续电压关系图。第七图系线接合装置用焊球形成装置方块图。第八图系金属线与放电电极沾有污点状态之说明图。第九图系吹送气体于接合突角的构造的说明图。
地址 日本