| 主权项 |
1.一种基板搬运装置,其特征为具备有: 搬运方向移动体,沿着搬运路可移动; 收容箱,对前述搬运方向移动体通过可水平旋转之 旋转轴被支持;及 基板移交构件,被设于前述收容箱内,同时对峙于 处理装置之搬出入口的姿势下可移动于离接在该 搬出入口的方向,通过被形成于该收容箱之开口部 并对处理装置,可用以移交保持的基板。2.如申请 专利范围第1项所记载之基板搬运装置,系在前述 收容箱内,设有基板移交构件具备复数段之基板载 置部者。3.如申请专利范围第1或2项所记载之基板 搬运装置,其中前述收容箱系被层叠设置成复数段 ,并分别被设有前述基板移交构件者。4.如申请专 利范围第1或2项所记载之基板搬运装置,其中前述 收容箱系通过被配置成略呈水平之间隔板并被区 分成复数室,并使前述基板移交构件,被设于被区 分之各室者。5.如申请专利范围第1或2项所记载之 基板搬运装置,系在被形成于前述收容箱之开口部 被设有可开关的盖构件者。6.如申请专利范围第1 或2项所记载之基板搬运装置,其中被形成于前述 收容箱之开口部系具有常时开口之构造,同时具备 有压力控制机构为了将该收容箱内部保持于正压 者。7.如申请专利范围第1或2项所记载之基板搬运 装置,其中被形成于前述收容箱之开口部系具有常 时开口之构造,同时具备有送风机构由对置于该收 容箱之开口部的面侧通过该开口部用以形成气流 流到外部者。8.如申请专利范围第1或2项所记载之 基板搬运装置,系设有监视装置用以监视前述收容 箱内之状态者。9.一种基板搬运装置,其特征为具 备有: 搬运方向移动体,沿着搬运路可移动; 基板移交构件,对前述搬运方向移动体通过可水平 旋转之旋转轴被支持,同时对峙于处理装置之搬出 入口的姿势下可移动于离接在该搬出入口的方向, 对处理装置,可用以移交保持的基板;及 灰尘除去装置,具备有吸尘用之过滤器被配置于前 述基板移交构件的近傍。10.如申请专利范围第9项 所记载之基板搬运装置,其中用以构成前述灰尘除 去装置之过滤器,系被设于前述基板移交构件之上 方者。11.如申请专利范围第9或10项所记载之基板 搬运装置,其中前述灰尘除去装置,系具有壁部可 用以覆盖前述基板移交构件之周围者。12.如申请 专利范围第9或10项所记载之基板搬运装置,其中前 述基板移交构件,系具备有复数段之基板载置部者 。13.如申请专利范围第8项所记载之基板搬运装置 ,系构成具有:风速感应器,使监视装置设于前述收 容箱;及送风控制部,以该风速感应器藉由检测之 信号用以作动控制形成前述送风机构之风扇。14. 如申请专利范围第13项所记载之基板搬运装置,系 将警报装置设于前述送风控制部,以前述风速感应 器根据检测之信号藉由前述送风控制部使前述风 扇被指示用以增强其作动时,通知形成前述送风机 构之过滤器有筛眼堵塞状态。15.如申请专利范围 第13项所记载之基板搬运装置,系设有对面状态检 测装置,使收容箱之开口部对峙于前述处理装置之 搬出入口的姿势时,藉由前述送风控制部利用送风 机构之风扇减少送风量。16.如申请专利范围第7项 所记载之基板搬运装置,系将伸缩构件设于前述处 理装置之开口部周缘,使前述收容箱之开口部与前 述处理装置之搬出入口相对时,将收容箱及处理装 置之空间由外部进行遮断者。17.如申请专利范围 第1或2项所记载之基板搬运装置,系具备有送风机 构,设于前述收容箱之顶部,并由该顶部朝向下方 吹出空气者。18.如申请专利范围第1或2项所记载 之基板搬运装置,其中前述收容箱系沿着搬运路进 行移动时,朝向与前述收容箱之开口部用以移动对 置之面的方向使移动所构成者。19.如申请专利范 围第1或9项所记载之基板搬运装置,系将前述基板 移交构件藉由水平多关节机构可移动所构成者。 图式简单说明: 第一图系显示本发明之处理系统的实施形态之斜 视图。 第二图系显示本发明之基板搬运装置之一实施形 态的斜视图。 第三图系显示有关上述实施形态之基板搬运装置 的内部构造平面图。 第四图系显示用以说明有关上述实施形态之基板 搬运装置的驱动装置之重要部分图。 第五图系显示设于收容箱之盖构件的构成图。 第六图系显示本发明之基板搬运装置其他实施形 态模式的侧视图。 第七图系显示有关上述实施形态之基板搬运装置 模式的前视图。 第八图系为了用以说明基板搬运区域中用以检测 各种状态之监视系统的模式图。 第九图系显示有关上述之一实施形态第1变形例及 第2变形例中的基板搬运装置之内部构造平面图。 第十图系同第3变形例中由侧面观看收容箱之剖面 图。 第十一图系第4变形例中之收容箱的侧视图。 第十二图系显示第5变形例中之收容箱的移动平面 图。 第十三图系第6变形例中之移交装置的剖面图。 第十四图系第7变形例中之收容箱的斜视图。 第十五图系第7变形例进而另外变形例中之收容箱 的斜视图。 第十六图系第8变形例中之基板移交构件的斜视图 。 第十七图系显示有关第9变形例中之收容箱,关闭 盖构件之状态下的斜视图。 第十八图系有关第9变形例,打开盖构件之状态下 的斜视图。 第十九图系第9变形例进而另外变形例中之收容箱 的斜视图。 第二十图系第10变形例中之处理装置的剖面图。 第二十一图系第10变形例进而另外处理装置的剖 面图。 第二十二图系显示收容箱之进而另外实施形态图 。 |
