| 摘要 |
본 발명은 반도체 제조 공정, 프린터, 액정 봉입 공정, 약액 제조 공정 등에 있어서, 약액 탈기에 사용되는 중공사막 모듈 및 그의 포팅재, 이 중공사막 모듈을 이용한 약액 탈기 방법에 관한 것이다. 본 발명의 중공사막 모듈 (1)은 포팅재 (2)가 시험편을 약액에 실온에서 6개월간 침지시킨 후의 이 시험편의 단위 표면적 당 질량 변화가 -20 내지 +20 mg/cm의 범위 내인 에폭시 수지 경화물이고, 하우징재 (4)가 시험편을 약액에 실온에서 6개월간 침지시킨 후의 이 시험편의 질량 변화가 -20 내지 +20 mg/cm의 범위 내에서 금속의 총함유량이 300 ppm 이하인 폴리올레핀인 것을 특징으로 하며, 모듈 누설을 발생하지 않고 장기간 약액 처리에 사용할 수 있는 것이다. |
