发明名称 ELECTRON BEAM EVAPORATION OF TRANSPARENT INDIUM TIN OXIDE
摘要
申请公布号 KR20010113719(A) 申请公布日期 2001.12.28
申请号 KR1020017011061 申请日期 2001.08.30
申请人 发明人
分类号 C23C14/08 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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