发明名称 METHOD FOR FORMING FERROELECTRIC CAPACITOR TO PREVENT SHORT BETWEEN UPPER AND LOWER ELECTRODE
摘要
申请公布号 KR20010113271(A) 申请公布日期 2001.12.28
申请号 KR20000033537 申请日期 2000.06.19
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KWON, SUN YONG
分类号 H01L27/105;(IPC1-7):H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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